
·模壓氟橡膠密封條全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用,運用范圍包含薄膜制程中之PVC,CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
硅氟橡膠
FLS
(FluorinatedSiliconeRubber)硅氟橡膠為硅橡膠經氟化處理,其一般性能兼具有氟橡膠及硅橡膠的優點;其耐油、耐溶劑、耐燃料油及耐高低溫性均佳,一般使用溫度為-50200。
優點:
·適用于特別用途,如要求能抗含氧的化學物、含芳香氫的溶劑及含氯的溶劑的侵蝕。
缺點:
·不建議暴露于煞車油,酮類及胼的溶液中·太空機件上。
(FFKM)O型圈
全氟醚橡膠是由TFE(主鏈)、PMVE(支鏈)及架橋部所構成,它不僅具有像PTFE一樣優異耐高溫,耐化學腐蝕的性能(可耐1600余種化學品的腐蝕),還兼備了橡膠的彈性,其在300時的壓縮變形率也僅在50以下。普通全氟橡膠工作溫度范圍為-25+240間,Kalrez7075耐高溫可達327,即使當暴露在316的恒溫中或像343這樣的間歇高溫環境中,Kalrez制作也不會發生導致密封失效的硬化和脆化,Kalrez在與侵蝕性流體的浸漬直接接觸中依然能保持其彈力和回彈性能。事實上,Kalrez的熱穩定性往往超過了那些流體本身。全氟橡膠還具有優異的氣密性(耐真空度可達1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高潔凈性以及耐離子體性,這些特點在半導體行業的應用也非常廣泛.
注意事項
氟橡膠的主要特性是耐高溫和耐化學腐蝕,并有很好的抗老化和抗的性能,且滲氣度也非常低。即使在非常惡劣的工作條件下,仍然有非常好的耐磨性。氟橡膠能承受+200度或以下的工作溫度,也能允許短時間無油情況下的運行。
氟橡膠可以抵抗油、液壓油、燃油、潤滑劑、無機酸、脂族烴和芳族烴等,但在有酯、醚、酮、某些胺和高溫的氟水氫等化合物的情況下,不應使用氟橡膠。
在正常工作條件和工作溫度在+200度以下,氟橡膠是非常穩定和無害的。
但遇到300度以上高溫時,如氣割槍的火焰,氟橡膠會釋放出有害的氣體。吸入這些氣體或進入眼睛會對人體健康造成損害。